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元朝继承宋的祀典。元世祖至元五年（1268）上都建城隍庙。至元四年，兴建大都。至元七年，大都城建成，立城隍神庙，设象而祠之，封曰祐圣王。元虞集《大都城隍庙碑》曰：“自内廷至于百官庶人，水旱疾疫之祷，莫不宗礼之”元文宗天历二年（1329）加封大都城隍神为护国保宁王，夫人为护国保宁王妃，城隍夫人之封赐始见于此。元余阙《安庆城隍显忠灵祐王碑》记曰：“今自天子都邑，下逮郡县，至于山夷海峤、荒墟左里之内，无不有祠”明代城隍神信仰趋于极盛。洪武二年（1369）封京都城隍为承天鉴国司民升福明灵王，开封、临濠、太平、和州、滁州城隍亦封为王，秩正一品；其余府为鉴察司民城隍威灵公，秩正二品；州为灵祐侯，秩三品；县为显祐伯，秩四品都、府、州、县城隍各赐王、公、侯、伯之号，并配制相应的衮章冕旒。朱元璋敕封城隍的用意，据明余继登《典故纪闻》卷三载，太祖谓宋濂曰：“朕立城隍神，使人知畏，人有所畏，则不敢妄为”洪武三年，又定庙制，府州县城隍庙与各地官署正衙高广相当《大明会典》卷九三载每岁仲秋祭都城隍神，“遣官诣庙致祭，国有大事则告”明代府州县新官到任，必先宿斋城隍庙，以与神誓；并称城隍神于冥中司民命，且有监视纠察官吏之任
清代亦崇祀城隍神。据《清史稿·礼志》载：清都城隍庙有二，一在北京，一在沈阳。清初定制，凡祭三等，城隍为群祀之一。清承明制，以城隍主厉坛，每岁仲秋祭都城隍
每月朔、望有司诣都城隍庙上香，二跪六拜，旸雨愆期则祷
从隋唐开始，逐渐以“正人直臣”或被认为有功于民者为城隍神。《通典》卷一百七十七“襄阳郡”条引鲍至《南雍州记》云：“城内见有萧相国庙，相传谓为城隍神”
《太平广记》卷三百三“宣州司户”条载，宣州司户死，引见城隍神，府君曰：“吾即晋宣城内史桓彝也，为是神管郡耳。”宋赵与时《宾退录》卷八云：城隍“神之姓名具者，镇江、庆元、宁国、太平、襄阳、兴元、复州、南安诸郡，华亭、芜湖两邑，皆谓纪信；隆兴、赣、袁、江、吉、建昌、临江、南康，皆谓灌婴；福州、江阴，以为周苛真州、六合，以为英布；和州为范增襄阳之谷城为萧何；兴国军为姚弋仲；绍兴府为庞玉…鄂州为焦明…台州屈坦…筠州应智顼…”AF时代愈后，所祀之人愈多。明清时期的杭州城隍周新、上海城隍秦裕伯，是城隍神之著名者
民间奉祀城隍最初以为城池、地方的保护神，前引《北齐书·慕容俨传》所记城隍帮助慕容俨退梁军，即是一例。稍后人们又奉城隍为主管阴司冥籍之神，《茶香室丛钞》卷十六谓：“《太平广记》引《报应录》云：‘唐洪州司马王简易，常暴得疾，梦见一鬼使，自称丁郢，手执符牒云，奉城隍神命来追，王简易即随使者行，见城隍神。
神命左右将簿书来检，毕，谓简易曰：犹合得五年活，且放去’是唐时城隍之神，已主冥籍，如今世所传矣”AG道教至迟在唐代即奉祀城隍。它因袭民俗，亦视城隍为保护地方、主管当地水旱疾疫及阴司冥籍的神灵。
城隍的观念源自道教，其后与儒教结合相互影响。最早记载城隍的是《周易》：「城复于隍，勿用师」。最早祭城隍只筑土坛，无庙无像。正如《凤山县志&；#8231；祀典志》所载：「城隍庙无专祭，而水旱、疾疫必祷之，致敬、宿斋必告之；故立之庙，使神有所凭依也。」。设置城隍庙祭祀，大抵从道教成为民间信仰才出现。
城隍崇拜可追溯到周朝，是除夕要祭祀八个神之一——水庸。据《礼记》所载，古代皇帝祭祀「八蜡」中的「水庸」，就是祭祀城隍。相传三国时代的吴国曾建城隍庙；另在《北齐书》记述，北齐大将慕容俨就曾于郢城拜城隍神祠而战胜了南梁敌军。而《隋书&；#8231；五行志》记载：「梁武陵王纪祭城隍神，将烹牛，忽有赤蛇绕牛口。」由此可知，在南北朝的城隍普遍为民间信仰。
由汉代开始，城隍的祭祀活动不断提升，更尊封已死功臣为城隍，其中有：霍光和纪信等。唐代祭祀城隍为求晴祈雨、招福避祸、禳灾诸事，已出现祭城隍文。撰文的不乏著名人士，其中有：韩愈、杜牧和李商隐等。到宋代，由于祭祀城隍列入国家祀典，故城隍庙普及各府、州和县。北宋欧阳修所写的祭城隍文：「雨惟神有灵，可与雨语，吏竭其力，神佑以灵，各供其职，无愧斯民」，显示了当时官吏们对城隍的敬重和互赖关系。其后的元朝，除在京都建城隍庙外，更封城隍为「佑圣王」。
到明代时，明太祖对城隍特别崇敬，曾亲诏刘三吾：「朕设京师城隍，俾统各府州县之神，以鉴察民之善恶而福祸之，俾幽明举，不能幸免。」明太祖更册封京都、府、州、县四级城隍，各级城隍神都有不同爵位和服饰，各地最高官员需定期主祭。及至清代，祭城隍同样列入祀典，城隍的地位更崇高。但凡新官到任前需到城隍庙斋宿；上任日，更需在城隍前完成祭礼才能就任。由此观之，城隍的职能随时代变迁，已由起初有求必应的神明转变为地位超然的国家和地方守护神。
「城隍」这个名词最早的文献记载，可以追溯到《周易．泰封》：「城复於隍，勿用师」；《易经》中又言：「城复於隍，其命乱也」，在这裏所说的「城」是指「城廓」、「城壁」、「城墙」，「隍」则是「城堑」，指城外护城的壕沟，也就是指「护城河」，「城隍」的意义就是防守城池的护城河。其意是指如果城墙倾覆时，是为乱兆，为政者应应息武止戈，不可穷兵牍武。
《梁书．陆襄传》中也曾记载陆襄曾率领城中百姓官史一起修城隍的事情。
在《礼记》中则记载：「天子大蜡八，水庸居其七」，句中即说明了古时的天子有八种重大的祭祀活动，此蜡祭包含「先啬」、「司啬」、「农」、「邮表畷」、「猫虎」、「坊」、「水庸」、「昆虫」等八类。郑玄注：「水庸，沟也。」，《陔余丛考》巻三十五：「水则隍也，庸则城也。」，所以城隍是由「水庸」神演化而来，由城池的守护神而变成了城市的守护神，在周朝天子就有祭城隍的仪式，所以「城隍神」在当时就是一种「建物神」，人们将城隍视为保护地方的守护神。
在上古时代，只有天子可以祭祀城隍，当时祭祀的方式只筑土坛，并无塑神像或建庙，且每年有春、秋二祭，清孙承泽撰的《春明梦余录》中说：「芜湖城隍庙，建於吴赤乌二年（西元239年）间……」，是有关城隍庙中最早的记载。
清代赵翼所写的《陔余丛考》中说到：「《北齐书》的〈慕容俨传〉有记：「城中有神祠一所，俗号城隍神，公私每有祈祷。」可见在南北朝时代，民间就有了城隍爷的祭祀行为了。
到了唐代以后，城隍已渐变成冥神，并具人格化了，祭祀城隍神更为普遍了，韩愈、李商稳、张说、张九龄、杜牧等文人都有撰祭城隍的文章，主为祈雨、禳灾的祭祀行为。
五代的唐愍帝清泰年间，城隍爷地位更高了，被封为王爵，各地尊称为「城隍爷」。
到了宋代城隍信仰已是民间非常普遍的信仰了。
元代文宗天历年间，朝廷让城隍爷配享夫人
到了明代明太祖朱元璋更是信奉城隍爷，传说中这和朱元璋未当皇帝前，曾宿身於土地公庙有关，而城隍爷更是土地公的顶头上司，故特别推崇，故封京师城隍为「帝」，开封、临濠、东河、平涤四地城隍为「王」，各府城隍为「威灵公」，各州城隍为「绥靖侯」，各县城隍为「显佑伯」
洪武三年，朱元璋再度下诏，封京师城隍为「都城隍」、府之城隍称为「府城隍」；县之城隍则称为「县城隍」，此时城隍神谓和朝廷官制相仿。
到了洪武二十年，清廷更将城隍庙之规格更往上推，将各级的城隍庙比照官署衙门规格，此时城隍神地位更确立了阴间的地方行政长官。
在清代同时也订出祭祀的礼仪，对城隍推祟极备，也让城隍成为协助人间官吏的重要阴间力量。
雍正二年春秋二祭时，风雨雷雨之神位置於祭坛之中，当地山川之神居右侧，城隍爷则位左侧，祭祀之礼后，并共同奉祀於城隍庙内。
各级地方官吏於上任就职之前，则须先至城隍庙上香，在每月的朔、望之日也须至城隍爷前上香，一方面表示对城隍的尊重，另一方面也希望城隍爷也庇佑众生，也能以其神灵协助其处理地方事务。
【城隍的民间传说】
清代《新齐谐》记载：雍正年间，有一位少年谢生，住在城隍庙里读书。一天夜里，他听见一个小偷对着城隍祷告说：“今天晚上你如果保佑我偷盗成功，明天一早我就拿三牲来祭奉你。”。谢生想：城隍是神，公正严明，不可能为了区区三牲而去保护小偷的。怎料，第二天清早，小偷果然拿着三牲前来祭奉城隍，这可把谢生气坏了，于是，他写了一篇文章，大骂城隍的贪赃枉法。夜里，城隍托梦给谢生的老师，说要惩治谢生。老师惧怕城隍的威吓，就把谢生的文章烧毁了。谁知，城隍托梦给老师，原本只是吓唬一下谢生的，而老师当真把文章烧了，却正好遇见路神经过，路神把此情况报告给了东岳大帝，东岳帝就撤了城隍的职。过了几天，灾祸降临到了谢生身上，谢生不治身亡。庙里的道士按照东岳帝的指示，把原来的城隍像扔了出来，再按谢生的模样搠了一个新的城隍供奉在庙中。
【城隍】
城隍；有的地方又称城隍爷。他是冥界的地方官，职权相当于阳界的市长。因此城隍就跟城市相关并随城市的发展而发展。
城隍产生于古代祭祀而经道教演衍的地方守护神。城隍本指护城河，班固《两都赋序》：“京师修宫室，浚城隍。”祭祀城隍神的例规形成于南北朝时。唐宋时城隍神信仰滋盛。宋代列为国家祀典。元代封之为佑圣王。明初，大封天下城隍神爵位，分为王、公、侯、伯四等，岁时祭祀，分别由国王及府州县守令主之。明太祖此举之意，“以鉴察民之善恶而祸福之，俾幽明举不得幸免”。城隍由护卫神变为阴界监察系统，道教因之而称城隍神职司为剪除凶逆，领治亡魂等。
【城隍的起源与形成】
城隍，起源于古代的水（隍）庸（城）的祭祀，为《周宫》八神之一。“城”原指挖土筑的高墙，“隍”原指没有水的护城壕。古人造城是为了保护城内百姓的安全，所以修了高大的城墙、城楼、城门以及壕城、护城河。他们认为与人们的生活、生产安全密切相关的事物，都有神在，于是城和隍被神化为城市的保护神。道教把它纳入自己的神系，称它是剪除凶恶、保国护邦之神，并管领阴间的亡魂。
早在周朝，每到收获之后，到了除夕，人们都要腊祭八神，其中第七神就是水庸神，水即隍，庸即城，水庸神即城隍神。
自三国开始，民间就有了城隍祠，记载最早的城隍祠便是公元239年孙权在安徽芜湖建立的。到隋朝时，已有了用动物祭祀城隍的风俗。